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18101556626目前纳米级集成电路芯片生产要求气体中杂质的浓度要控制到19-9级或10-12级,要求超纯水的电阻率为18MΩ·cm,杂质浓度为19-9级或10-12级。
合理设计空气洁净等级?在药厂洁净车间设计中，对空气洁净度等级规范确实定，应在保证消费质量的前提下，综合思考工艺消费才干、设备的大小、操作体式格局和前后消费工序的跟尾体式格局、操作人数、设备主动化水平、设备检修空间、设备清洗体式格局等要素，以降低投资和运转费用，抵达节能请求。
在，电子行业每年花费在洁净室方面的费用约为50亿元，其中，以集成电路芯片生产线为代表的微电子行业每年约30亿元。
与此同时,推荐性条文的各项规定使电子工业洁净厂房的设计、建造有法可依,有章可循。
洁净门
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