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18101556626食品厂净化车间管理要求及维护注意事项spcjhcjgly良好的加工环境,对于产品的制作本身,将会取得更好的成绩作为准备。
举例说明:例一、某厂集成电路前工序洁净厂房,无尘车间设计按加工、生产6英寸硅片、1M集成电路,图形特形尺雨1.0um,控制粒子粒径0..1um.无尘车间空气洁净度等级要求:光刻、匀胶区 ISO 3级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 3级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 ISO 5级例二、某厂集成电路前工序洁净厂房,无尘车间设计按加工、生产5英寸硅片、256K集成电路、图形特形尺雨2.0um,控制粒子粒径0.2um.无尘车间空气洁净度等级要求:光刻、匀胶区 ISO 3级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 4级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 ISO 6级2、一些电子产品生产环境的空气洁净度等级随着信息产业技术的发展,许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化,日益要求生产环境具有一定的空气洁净度等级和控制无尘车间内工艺生产所需的各类高纯物质的供给质量,目前国内外还没有统一电子产品的空气洁净度等级或生产环境控制要求的统一规定,各种电子产品的生产厂家依据其生产的产品品种、所采用的生产工艺技术、生产工艺设备、生产用原辅料以及无尘车间运行的实践经验确定设计建造无尘车间的空气洁净度等级。
实验室的补风一部分来自空调系统直接送入实验室的新风,这部分新风根据实验室排风量的变化而变化;另一部分通过空调系统送入非实验室区域的走道、房间再通过实验室的门缝补给。
2、具备高密闭性钢质 净化门 的密闭性非常好,关闭状态下不会存在门缝而能够有效避免冷气或暖气外溢。
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