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18101556626二、在净化工程安装施工过程中对净化工程安装施工进度目标进行动态跟踪和控制1、按照进度控制的要求,收集净化工程安装施工进度实际值。
正确的气流组织局部区域应设围帘下垂至工作区高度,10万级也不应采用上送上回。
此外,还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域,包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。
风管的清洗工作应分段、分区域进行,在风管清洗工作段与非工作段之间、进行清洗的风管与相连通的室内区域之间应采取隔离空气措施。
对于乱流式洁净室减少室内污染主要是通过空气的稀释作用来完成的,因此,一般不用速度而是用换气数来说的。
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