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日期:2022/02/25 类型:净化门动态

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2.3 控制洁净车间的人数 尽管在进入洁净车间前更衣, 但人在洁净车间的行走和操作还是有一定的产尘量, 这些尘埃需要洁净车间的下送气流带走。

1、半导体集成电路要求的空气洁净度等级集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度,不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。

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