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1810155662610级:这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
动态洁净室的检测(PQ)为了评估动态洁净室工作的稳定性:1、验证洁净室分割制度;2、评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力;3、按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度(必要时);4、验证压差;5、按粒子数和微生物数量确定表面洁净度(必要时);6、检查洁净室运行文件的成套性,其中包括参数的检查方法,洁净室工作事故及采取的措施等,是否有基本的规程,如洁净室清扫、更衣、人员卫生等方面的规程等;7、检查人员是否经过培训,是否有培训体系和相应的文件;必要时还要检查振动强弱,空气电离程度,电磁场强度。
圆角线三维汇交处安装铝合金顶球片,门口断开处应收口,阳角柱与天花之交角; 洁净门 窗:实验室统一采用 洁净门 ,门套为5mm宽,门板上为5mm钢化玻璃窗,下部分为 彩钢板 填充。
2. 物料进入时,原辅料由配制班工序负责人组织人员脱包或外表清洁处理后,经 传递窗 送至车间原辅料暂存间;内包材料在其外暂存间拆去外包装后,经 传递窗 送入内包间。
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