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在北方，冬季新风温度低可以通过预热的方式解决，但是新风湿度小就没有办法通过预湿的方法解决了，主要是湿度大小不容易控制，通风管道加湿后容易滋生细菌等无法解决。

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其原理图见图:2 炉室、BSD室仅有温度控制要求设风冷电热分体柜式空调机（PAL）来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用方形散流器顶送风方式；室外机放置在屋面上。

此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。