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18101556626L3 人员要求 L3.1 清洗机构应具有工程技术、空调通风、仪器仪表等及技术工人配套的技术人员队伍。
由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求，为得到高纯度的硅材料，原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。
1、半导体集成电路要求的空气洁净度等级集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度，不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。
严格控制吊筋与楼面的连接，确保垂直、不脱落，主龙骨及T型龙骨安装水平。
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