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此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。
这样，生物净化技术才能提供一种切实可行的保障体系。
1、洁净室设计参数换气次数：十万级10－15次/小时；万级15－25次/小时；千级50－52次/小时；百级操作台断面风速0.25-0.35m/s压差：主车间对相邻房间≥5Pa。
为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。
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