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18101556626静电电势与湿度成反比,同时与在普通场合相比,空气越纯净的场所(如无尘车间)内,由于空气中的离子浓度低,所以静电更易产生。
日常动态监测项目:洁净度、温度、相对湿度、压力梯度等。
近年来的实践表明,带入洁净室或洁净室产生的污染以及空气中的NOX、 SOX 、Na+、Cl-等,超细玻璃纤维制品中的硼和DOP粒子,操作人员自身产生的NH4+、Na+等,洁净室建造材料散发的各种物、金属离子等,生产过程使用溶剂、洗涤液散发的各种化学污染物等对生产过程都有很大的影响。
另外,平板显示(FPD)产业作为支撑我国电子信息产业持续发展的战略性产业,也是洁净室相关供应商的重要用户。
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