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18101556626其中，100万级洁净室的通风量是按高中效净化系统考虑[7]，其余均按高效净化系统考虑；当10万级洁净室高效过滤器集中布置在机房或系统末端采用亚高效过滤器时，可适当提高换气次数10-20%。
影响洁净室性能参数的主要因素有：① 空调净化送回风系统和洁净室的气流组织;②冷、热、湿源的供应和空气处理系统;③自动控制系统的灵敏度和精度。
由国家住房和城乡建设部和国家质量监督检验检疫总局联合发布,并从2009年7月1日实施的国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472),正是以现代电子工业洁净厂房的特点和工程实践为依据,结合我国电子工业洁净厂房设计建造和运行的实际情况,广泛调研、整理相关的专题报告和测试资料,认真总结多年来电子工业洁净厂房设计建造和运行方面的经验,广泛征求了国内有关单位的意见制定而成的。
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