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18101556626(3)通过图纸自审、互审和会审形成图纸会审纪要,掌握拟建工程的特性及应注意的问题,给工程的施工创造条件。
而集成电路制造所需的无尘车间之洁净度优于1000级。
该工厂是在一个单独的建筑物或在控制区域内的建筑物,且与该区域内其他建筑物完全隔离。
因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混,而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。
例如洗手消毒完全可以当作缓冲间,另外对于低级别洁净室之间,如万级和10万级洁净室之间,不一定非要设置缓冲室,有些场合,三更的设置也是可以考虑的。
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