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半个多世纪以来,集成电路得到迅猛发展,随着集成度的增加,元件中的线宽不断缩小,因此对空气悬浮颗粒物的控制粒径也越来越小,一般认为控制粒径应当是线宽的1/10~1/3,但由于线宽越来越小,这一要求也难以达到了。
就是以每立方米空气中的大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。
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