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181015566261.2.2 洁净车间换气次数不合理 洁净车间不论是乱流时的稀释作用, 还是单相流时的置换作用, 都需靠洁净空气的量来控制和实现洁净车间的各种参数, 因此洁净车间的换气次数不能过低。
3、半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中,这种防静电盛放器有良好导电性能,能防止无尘净化工程中静电的产生。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,洁净房但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。
从换气次数角度上来说:100000(10万)级要求每小时换气18-25次,完全换气后空气净化时间不超过40分钟。
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