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18101556626我们希望通过认真执行、实施国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》使我国电子工业洁净厂房的设计建造达到更高的水平。
(4)造成环境污染众所周知,环境污染主要是工业污染造成的。
洁净空调系统目前普遍采用了控制灵活、性能可靠的直接数字控制(Direct Digital Control,DDC)系统,当室内空气参数达不到设计要求时,可通过DDC控制系统来自动调节各阀门开大或关小。
因此,在选择购买配件的时候,要对螺丝或者螺帽方 面选择更加一点,品质也会要去更严格些。
有意义的验证满足以下两个条件:1)应使用实际的药液2)在差的工艺条件下进行验证其原因在于: 1)有些药液会使滤膜的孔径变大,有时也会使细菌变小。
随着集成度的不断提高、加工尺寸日益微细化,集成电路生产过程不仅对空气洁净度等级提出越来越高的要求,也对整个产品生产过程中微粒的黏附、化学污染物、芯片的损伤等问题提出越来越高的要求。
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