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18101556626因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有高的要求,而且也需进一步控制粒子数;同时,对于超大规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。
因此,使用低污染值的绿色环保材料可使药厂洁净室的污染状态很低,这也是减少新风负荷,降低能耗的很好的途径。
通风柜的位置布置在远离空气流动、紊流大的地方,远离行走区域和空气新风区。
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