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当前45nm的大规模集成电路已投入生产,要求洁净室的空气洁净度控制在ISO1级或 ISO2级,微粒粒径控制在0.03微米。
6. 易造成污染的物料及废弃物，均应从其专用 传递窗 运到非洁净区。
四步、空气过滤，这里我们使用的是初效过滤器进行空气过滤。
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