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18101556626在种洁净系统中，FFU循环系统运行成本低，洁净度性高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。
洁净房所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
工艺设备应尽量在已有的定型设备中选择，这些设备来源于各设备生产厂家，若选不到合适的设备，再进行设计。
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