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也就是说，保证过滤器接触到的气流是经过预过滤器、粗效过滤器、中效过滤器过滤之后的空气。
在完全单向气流的洁净室内，人们希望微粒从工作区域流到带小孔的地板下。
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一则防止水中粉粒污染晶圆，二则防止水中重金属离子（如钾、钠离子）污染金氧半晶体管结构之带电载子信道，影响半导体组件的工作特性。
高效送风口,洁净门
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