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18101556626为了严格保证实验室内各个区域内的压差和压力梯度，送风和排风系统上应安装必要的风量调节装置，而不能用普通调节阀代替。
认真的完成检查，确保产品的质量，这样的安装才会更适合。
直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，洁净房特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
无隔板主要采用热溶胶作为滤芯的分隔物，便于机械化生产。
在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本低，洁净度性高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。
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