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18101556626(5)维护性:对无尘车间而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分。
因而冬天以前可适当上几滴防寒汽车机油,冬天以往后再滴上些车用汽油清洗一下。
直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,洁净房特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
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