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18101556626电子工业洁净厂房采用多功能组合式建筑形式日益增多,电子产品生产工艺及其制造设备的集成化、过程控制自动化水平日益提高,设施日益完善,生产过程所需的作业人员大大减少,这些都提高了电子产品生产过程的稳定性和可靠性,为生产环境创造了良好的条件。
洁净车间如何防患微粒子污染?jjcjrhyxfh净化车间内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列四项基本原则:一、不携入在洁净车间内不携入微粒子的方法有:1)作业员进入洁净车间前,机台、零件携入前应进行清洁处理;2)进入洁净车间者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
化学实验室换气要求每小时大于10次,物理实验室每小时大于10次,实验室无人时换气可减少为6次。
目前纳米级集成电路芯片生产要求气体中杂质的浓度要控制到19-9级或10-12级,要求超纯水的电阻率为18MΩ·cm,杂质浓度为19-9级或10-12级。
正确的气流组织局部区域应设围帘下垂至工作区高度,10万级也不应采用上送上回。
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