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18101556626各种设计手册中复杂的计算方法并不适合现场施工技术人员的需求，在洁净室建造项目中，基本上工程技术人员都在靠经验估算，并没有比较准确而且又简单的洁净室漏风原因分析及洁净室正压送风量计算方法.一个密闭性能良好的洁净室，在使用过程中，主要的漏风途径有以下四种：• 高效送风口 的漏风;• 室内门、窗缝隙的漏风;• 开门过程中的漏风;• 风淋室、 传递窗 各种净化设备的漏风;• 室内配套设备的工艺排风。
相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。
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