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例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
2.对于车间内没有明显有害气体发生的情况，根据《洁净厂房设计规范》规定，保证净化车间供给洁净室内的新鲜空气量不小于40m3/ (h-人)。
使用方法： 传递窗 按与之相连的较别的洁净区的洁净级别来管理，如：喷码间与灌装间相连的 传递窗 应按灌装间的要求来管理。
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