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181015566262、按照既定的现场管理组织机构配足管理人员,同时制定各部门下属人员的岗位责任制。
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
4.5 专用清洗设备的要求用于公共场所集中空调通风系统的主要清洗设备应符合附录M的要求。
1、半导体集成电路要求的空气洁净度等级集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度,不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。
配备人员净化室(存外衣室、盥洗室、穿洁净工作服室及缓冲室)、物料净化室(脱外包间、缓冲室和双层 传递窗 ),除配备产品工序要求的用室外,还应配备洁具室、洗衣间、暂存室、工位器具清洗间等,每间用室相互独立,洁净车间的面积应在保证基本要求前提下,与生产规模相适应。
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净化门