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与此同时,它内部所使用的电子元器件也从电子管到半导体分立器件,再到集成电路和大规模集成电路;集成电路的线宽也已从几微米发展到当今45纳米。
生产操作区不得作为物料传递的通道, 生产场所的空间应尽量减少开门, 以保证操作室的气密性和洁净度。
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