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半导体厂工程设备用电约占全厂用电的49%，冷动机用电占工程设备用电的35%，洁净室空气处理机组用电占工程设备用电的23%。
另外目前较为广泛使用的还有二氧化碳、IG541、三氟甲烷和七氟丙烷等洁净气体灭火系统。
6、使用并联循环管路，双温度冷冻循环冷冻系统通常设计成可以承受大负荷，不管大负荷发生得是否频繁。
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