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18101556626以微电子产品为代表的电子产品,其生产过程中广泛应用了高精密制造设备,这使电子工业洁净厂房的形式、构造和整体建造成本都发生了大的变化。
往细的说包括门窗、装饰圆弧等;风管系统:包括送风、回风、新风、排风管道、末端及控制装置等;空调系统:包括冷(热)水机组(包括水泵、冷却塔等)(或风冷管道机级等),管路、组合式净化空调箱(包括混流段、初效段、加热段、制冷段、除湿段、加压段、中效段、静压段等);自控系统:包括温度控制、温度控制、风量风压控制、开启顺序和时间控制等;电气系统:照明、动力、弱电三部分,包括净化灯具、插座、电气柜、线路、监控、电话等强弱电系统;给排水系统:给水、排水管道、设施及控制装置等; 空气过滤系统:初中高效过滤器等其他净化设备:如臭氧、紫外线灯、风淋(包括货淋)、 传递窗 、超净工作台,互联锁等净化辅助设备净化工程可分为空气净化与水净化工程,空气净化是在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。
半导体厂工程设备用电约占全厂用电的49%,冷动机用电占工程设备用电的35%,洁净室空气处理机组用电占工程设备用电的23%。
3、洁净室需向室内供给一定比例的新鲜空气,净化过滤后进入各实验室以补偿排风,保证正压及工作人员需要。
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