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当前45nm的大规模集成电路已投入生产,要求洁净室的空气洁净度控制在ISO1级或 ISO2级,微粒粒径控制在0.03微米。
4.4 清洗机构的要求 从事公共场所集中空调通风系统清洗工作的机构应符合附录L的要求。
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