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7、净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。
4、参观走廊的设置参观走廊的主要功能是人物流通道，同时也是保证消防通道畅通；使洁净区与外界有一定的缓冲，保证了生产区域的洁净；作为参观走廊，应使参观者不会影响到生产。
例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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