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日期:2021/10/25 类型:净化钢制门

 4.2.6 清洗作业过程中的污染物控制清洗过程中应采取风管内部保持负压、作业区隔离、覆盖、清除的污物妥善收集等控制措施,防止集中空调通风系统内的污染物散布到非清洗工作区域。

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一、针对FFU风速进行改善改善方式:1、通过中控电脑,调整FFU马达转速降低(original: 1,300 rpm)2、观察洁净室压力值的变化(original: 65 Pa)3、持续降低转速直至压力为45 Pa4、记录FFU后的转速并观察洁净室压力二、针对(MAU)风速进行改善改善方式:1、通过中控电脑调整MAU马达转速(original:45Hz)2、观察洁净室压力值的变化(original: 45 Pa)3、持续降低转速直至压力为35Pa4、记录MAU后的转速,并观察洁净室压力三、终节能效果1、降低FFU转速(1)FFU转速由1,300 rpm降至1,100 rpm(2)共计可节省FFU马达耗电:62 Kw2、降低MAU转速(1)调节洁净室压力至35Pa,MAU负载 由45 Hz降至41 Hz(2)共计可节省MAU马达耗电:4 kW。

随着集成度的不断提高、加工尺寸日益微细化,集成电路生产过程不仅对空气洁净度等级提出越来越高的要求,也对整个产品生产过程中微粒的黏附、化学污染物、芯片的损伤等问题提出越来越高的要求。

即便是负压洁净室,它也有不低于它洁净度级别地相邻房间或套间维持一定地正压,负压洁净室的洁净度才能得以维持。

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