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18101556626而施工是实践,施工不规范,偷工减料以次充好或不按图纸施工,也会给洁净室的性能造成无法挽回的后果。
集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。
4.2.3 风管清洗采用专用机械清洗设备将风管内的可视污染物地输送到捕集装置中,严禁操作人员进入风管内进行人工清洗。
部件清洗范围包括:空气处理机组的内表面、冷凝水盘、加湿和除湿器、盘管组件、风机、过滤器及室内送回风口等。
但随着国家政策调整、大气污染加剧及生物隔离需要等原因,洁净房应用的领域将更加广泛,将扩展更多的兼容和包容性。
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