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18101556626当前45nm的大规模集成电路已投入生产,要求洁净室的空气洁净度控制在ISO1级或 ISO2级,微粒粒径控制在0.03微米。
4、当调换或清洗无纺布后,仍不能提高风速则说明高效空气过滤器已经堵塞,造成阻力,则应更换高效空气过滤器。
电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa 电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
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