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18101556626而导致芯片缺陷的因素十分复杂,其污染源可能来自空气中的粒子或加工过程中使用的各类工艺介质中的杂质、清洗用纯水中的杂质以及工具等带来的杂质污染等。
（3）通过 传递窗 [1] 传递时，严格执行 传递窗 内外门“一开一闭”的规定，两门不能同时开启。
为使洁净室获得良好的效果，国内外已有不少文献从不同的角度作过阐述。
1um折合尺温变化量＝0.20C[a为尺线膨胀系数，取10／um／(m?K)；l为尺长，m]，故工件温度变化需在： 以内。
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