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181015566264、洁净区内的物料送出时，应先将物料运送至相关的物料中间站内，按物料进入时的相反程序移出洁净区。
L5 专用清洗设备要求 L5.1 设备种类及数量清洗机构应具有专用清洗设备(见表L1)以及其它清洗所需要的设备、器材和工具等。
2)水平单向流：只在一工作区达到100级洁净度，当空气流向另一侧的过程中含尘浓度逐渐升高，所以仅适用于同一房间工艺过程有不同洁净度要求的洁净室；送风墙局部布高效过滤器较满布水平送可减少高效过滤器用量，节约初投资，但局部区域有涡流。
在洁净室里生产的各类电器元器件，基本上都需要防静电，因为生产高性能要求的产品时，若有静电吸附，被吸附的微尘就成了击穿，就会使材料的绝缘特性下降等。
净化车间快速门
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