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直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，洁净房特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
5.灌装封口，灌装封口对无菌灌装来说是后一个环节，也是关键的一个环节，其直接影响产品的灌装品质和储存期。
半导体厂工程设备用电约占全厂用电的49%，冷动机用电占工程设备用电的35%，洁净室空气处理机组用电占工程设备用电的23%。
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