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如果取样空气用于计算大于或等于 0.5um的粒径浓度，如果这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。
例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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为了满足规范的要求，往往还要在空调箱内设置消声器。
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