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18101556626举例说明：例一、某厂集成电路前工序洁净厂房，无尘车间设计按加工、生产6英寸硅片、1M集成电路，图形特形尺雨1.0um，控制粒子粒径0..1um.无尘车间空气洁净度等级要求：光刻、匀胶区 ISO 3级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 3级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 ISO 5级例二、某厂集成电路前工序洁净厂房，无尘车间设计按加工、生产5英寸硅片、256K集成电路、图形特形尺雨2.0um，控制粒子粒径0.2um.无尘车间空气洁净度等级要求：光刻、匀胶区 ISO 3级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 4级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 ISO 6级2、一些电子产品生产环境的空气洁净度等级随着信息产业技术的发展，许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化，日益要求生产环境具有一定的空气洁净度等级和控制无尘车间内工艺生产所需的各类高纯物质的供给质量，目前国内外还没有统一电子产品的空气洁净度等级或生产环境控制要求的统一规定，各种电子产品的生产厂家依据其生产的产品品种、所采用的生产工艺技术、生产工艺设备、生产用原辅料以及无尘车间运行的实践经验确定设计建造无尘车间的空气洁净度等级。
以微型化为例,电子计算机从当初放置在若干个房间内庞大的机组发展到今天的便携式笔记本。
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