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181015566264.2.2 现场检查与准备清洗机构应查阅集中空调通风系统有关技术资料,对需要清洗的集中空调通风系统进行现场勘察和检查,确定适宜的清洁工具、设备和工作流程。
洁净房所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
二、单向的、紊流的、垂直或水平气流费用因素变量:-0.073至0.18在许多案例中,单向气流只在小空间和净化车间的敏感区域内使用,并且使用微环境。
为了使洁净室的建筑表面尽量少积灰、易清扫,应在建筑构造上避免或减少凹凸面,墙面与地面、墙面与顶棚、墙面与墙面的相接处也不宜做成一般的直角,宜做成半径大于或等于50mm的圆角。
随着集成度的不断提高、加工尺寸日益微细化,集成电路生产过程不仅对空气洁净度等级提出越来越高的要求,也对整个产品生产过程中微粒的黏附、化学污染物、芯片的损伤等问题提出越来越高的要求。
4.5 专用清洗设备的要求用于公共场所集中空调通风系统的主要清洗设备应符合附录M的要求。
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