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18101556626许多微电子和光刻洁净室成功地采用被动气压控制,只有在大门全部打开的情况下,入口处的风量维持在每分钟50到100英尺。
三级对人体、动植物或环境具有高度危险性,主要通过气溶胶使人传染上严重的甚至是致命疾病,或对动植物和环境具有高度危害的致病因子。
室内外温差较大时,冷热气对流时,会使锁芯受潮。
除采取上述种种技术措施之外,为使生产环境或其他用途的洁净室室内环境控制在所要求的空气洁净度等级,重要的技术措施是需要送入足够量的经过处理的清洁空气,以替换或稀释室内在正常工作时所产生的污染物质污染后的空气。
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