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例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
洁净房所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
畸形的阻燃进程中,加热蒸煮的进程个别敞口进行,而后以致阻燃液蒸发过快。
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