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具体工艺对温度的要求以后还要列举，洁净房但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。
四、排除/除去 在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让洁净车间内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。
H.室内换气次数和末级过滤器效率之间的组合（达到相同级别）需进行经济比较。
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