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排烟风机入口处设置280℃关闭的排烟防火阀，并与排烟风机连锁。
更衣室、卫生间、淋浴室应保持清洁卫生，门窗不得直接开向车间，不得对生产车间的卫生构成污染。
直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，洁净房特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
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