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181015566265、温湿度 除特殊工艺外，从采暖通风空调的角度讲主要维持操作人员的舒适性，即适宜的温湿度。
洁净手术部的各类洁净用房应根据其空态或静态条件下细菌浓度和空气洁净度级别按表1划分等级。
从上到下，从先到后，每一过程的质量控制好坏均会影响到下一过程的质量控制，要控制好一个施工项目的质量，从先到后控制好每一个环节的质量，以上几个过程中，关键的是应做好工作质量和工序质量的控制。
直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，洁净房特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
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