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181015566262、其他灭火设施除设置水灭火系统之外，在SiH4配送区域应当设置直接作用于各个气瓶的水喷雾系统，该系统的动作信号应当来自感光探测器，如在远离建筑物的区域设计的开放式配送系统且采取了措施减轻爆轰影响后，可以不设置水喷雾系统。
二、人身净化路线为了在操作中尽量减少人活动产生的污染，人员在进入洁净区之前，更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。
过滤器更换标准：一、我们从过滤器说起,在洁净无尘室中,无论是安装在净化空调机组未端的大风量空气过滤器还是安装在送风口的空气过滤器,这些必需要有准确性的运行时间记录和洁净度及风量作为更换依据,如在常态的使用情况下,过滤器的使用寿命可以长达一年以上,如前端保护做的好过滤器的使用寿命可以长达二年以上一点问题也没有,当然这也要视空气过滤器的质量好坏而定,或许更长;二、如安装在净化设备中的过滤器,如风淋室里的过滤器,如前端初效过滤器保护做的好过滤器的使用寿命可以长达二年以上;如净化工作台上的过滤器,我们可以通过净化工作台上的压差表的提示来更换过滤器,洁净棚上的过滤器可通过空气过滤器的检测风速来决定空气过滤器更换的时间，如是FFU风机过滤单元机组上的空气过滤器更换更是通过PLC控制系统中的提示或者压差表的提示来更换空气过滤器。
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