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当前45nm的大规模集成电路已投入生产,要求洁净室的空气洁净度控制在ISO1级或 ISO2级,微粒粒径控制在0.03微米。
1、机壳：新风机的机壳一般起到保护内部器材还有防震静音的效果，而且机形一般是方形的，材料有不同种类，各品牌不同所使用的材料也不同，通用材料有铁皮、铝合金、 彩钢板 、不锈钢和复合夹心板，机壳上一般都有风口，用来排风或引风。
如果无尘车间的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5µm，例如，1级、10级、100级东莞无尘车间大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5µm，无尘车间等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。
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