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18101556626不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同,例如光刻要求在1级的微环境下,而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。
比较净化工程安装施工进度的计划值和实际值时应注意,其对应的工程内容应一致,如以里程碑事件的进度目标值或再细化的进度目标值作为进度的计划值,则进度的实际值是相对于里程碑事件或再细化的分项工作的实际进度。
计算条件面积100m2,层高3m,高架地板下部空间1m,FFU满布加高架地板系统。
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