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18101556626其中，100万级洁净室的通风量是按高中效净化系统考虑[7]，其余均按高效净化系统考虑；当10万级洁净室高效过滤器集中布置在机房或系统末端采用亚高效过滤器时，可适当提高换气次数10-20%。
微电子对洁净技术提出新要求 电子产品,尤其是微电子产品生产依赖于洁净技术的发展,或者说洁净技术的发展是由微电子产品的更新换代推动发展起来的。
⒊开启 传递窗 内的紫外灯，紫外照射待传递物品不少于15分钟。
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