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而导致芯片缺陷的因素十分复杂,其污染源可能来自空气中的粒子或加工过程中使用的各类工艺介质中的杂质、清洗用纯水中的杂质以及工具等带来的杂质污染等。
风淋式 传递窗 在传递物料时，顶部吹出高速、洁净气流，吹除货物表面的尘粒，此时，两侧门可以打开也可关闭，洁净气流起到气闸作用，以保证洁净室室外的空气不会影响室内的洁净度。
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