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181015566262、其他灭火设施除设置水灭火系统之外，在SiH4配送区域应当设置直接作用于各个气瓶的水喷雾系统，该系统的动作信号应当来自感光探测器，如在远离建筑物的区域设计的开放式配送系统且采取了措施减轻爆轰影响后，可以不设置水喷雾系统。
因为机械占空中积小，削减了洁净车间中100级平行流所需的空间，以及工程投资费用和人员对情况洁净度的影响，大大节约了能源。
今天我们就来分析下洁净室漏风计算方法，掌握通风系统的性能，以便更好的控制洁净室洁净度及节能问题。
至于维修的问题，对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。
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