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) 悬浮物通常以颗粒的大小来区分，而当中的可吸入悬浮粒子则可影响人体。
目前纳米级集成电路芯片生产要求气体中杂质的浓度要控制到19-9级或10-12级,要求超纯水的电阻率为18MΩ·cm,杂质浓度为19-9级或10-12级。
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